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晶圆盒KLA元素测定标准(kla的晶圆缺陷检测)

本篇目录:

电感耦合等离子体质谱法测定铌钽矿石中微量元素

1、参见第58章铌钽矿石分析中53电感耦合等离子体质谱法测定铌钽矿石中微量元素。

2、总之,电感耦合等离子体质谱法是一种高灵敏度、高准确度的先进分析技术,为我们提供了强大的元素分析能力,并在许多领域中发挥着重要作用。

晶圆盒KLA元素测定标准(kla的晶圆缺陷检测)-图1

3、火焰原子吸收光谱法。钽铌矿中锡的检测方法通常使用火焰原子吸收光谱法(FlameAtomicAbsorptionSpectroscopy,FAAS)或者电感耦合等离子体质谱法(InductivelyCoupledPlasmaMassSpectrometry,ICP-MS)进行分析。

4、电感耦合等离子体质谱仪主要用于测定金属材料中的微量元素。优点为操作简单、测试周期短、灵敏度高。缺点实际检测成本高制约其广泛使用,目前主要用于地质学中金属矿石微量、痕量和超痕量的金属元素测定。

5、ICP-MS(感应耦合等离子体质谱分析)是一种高灵敏度的分析技术,主要用于检测和测量样品中的微量和痕量元素。其主要用途包括:环境监测:用于分析土壤、水和空气中的污染物,如重金属和有毒元素。

晶圆盒KLA元素测定标准(kla的晶圆缺陷检测)-图2

微量元素铁,钠的测定对水的要求是多少

1、用移液管吸取100μgmL-1铁标准溶液10mL于100mL容量瓶中,加入2mL 2molL -1的HCl,用水稀释至刻度,摇匀。此溶液每毫升含Fe 3+ 10μg。

2、饮用水每项矿物质含量要求不一样。《生活饮用水卫生标准》(GB5749-2006)铁不超过0.3mg/L、锰不超过0.1mg/L、铜不超过0mg/L、硫酸盐不超过250mg/L、总硬度(以CaCO3计,不超过450mg/L。

3、测定不同元素是配制方法不一样,根据标准配就行了。

晶圆盒KLA元素测定标准(kla的晶圆缺陷检测)-图3

波长色散X射线荧光光谱法测定主量元素

试样与四硼酸锂、氟化锂混合熔剂以1+5的比例熔融成玻璃片,用波长色散X射线荧光光谱仪测定。用国家标准物质和光谱纯试剂按适当比例配制的标准样品以及国家标准物质作为校准标准,用理论影响系数法校正元素间的吸收-增强效应。

用X射线荧光光谱仪直接进行测量。各分析元素采用经验系数法与散射线内标法校正元素间的基体效应。 4 试剂 1 微晶纤维素 在105℃烘2~4h。 5 仪器及材料 1 压力机 压力不低于15MPa。

试样以四硼酸锂与氟化锂为熔剂,同时加入硝酸锂(氧化剂)、溴化锂(脱膜剂),在1050℃的高温条件下,将试样熔融成玻璃圆片,在X射线荧光光谱仪上进行分析测定。各元素组分的测定范围与各元素组分标准曲线的覆盖范围相当。

SiOFe2OTiOK2O、Na2O、CaO、MgO、P2OMnO、S、Pb、Zn、Sr、Zr、V、Ga、Cr、Sc等19个元素进行测定,各元素组分测定范围见表50.5。

同时样品受激发后发射某一元素的特征X射线强度跟这元素在样品中的含量有关,因此测出它的强度就能进行元素的定量分析。因此,X射线荧光光谱仪有两种基本类型:波长色散型(WDEXRF)和能量色散型(EDXRF)。

配制ICP-AES法测定所用的多元素混合标准溶液时,应考虑哪些因素_百度...

1、)ICP-AES法首先是一种多元素同时测定。不论是多道直读还是单道扫描仪器,均可以在同一试样溶液中同时测定大量元素(30~50个,甚至更多)。

2、标准的配制 采用与试样的稀土配分相同或相近的混合稀土来配制标准是常用的办法,主要有三种方法。

3、非光谱干扰的克服,除了校准仪器的标准溶液与试样溶液的介质要保持一致,以及采用蠕动泵进样克服溶液提升量的波动外,还可采用内标校正法或标准加入法来补偿较严重的基体效应。

熔片-X射线荧光光谱法测定主、次量元素

1、采用粉末试样压片制样,用X射线荧光光谱仪直接测定试样中Al2OCaO、Fe2OK2O、MgO、Na2O、SiOCe、Cr、Ga、La、Mn、Nb、P、Pb、Rb、Sc、Sr、Th、Ti、V、Y、Zn、Zr24种主、次和痕量组分。

2、首先用X射线荧光光谱仪直接测量玻璃片中待测元素特征。其次采用X射线荧光光谱法(XRF)熔融玻璃片法测样。最后消除了样品的粒度、密度和成分不均匀性即可。

3、研究样品的主量元素和微量元素含量主要采用X荧光光谱法(XRF)测定;稀土元素含量采用电感耦合等离子质谱(ICP-MS)分析。

4、荧光的产生是由于初始X射线光子能量足够大,以致可以在样品中产生电子—空穴,导致二次辐射(荧光)的产生。这种二次辐射是组成样品的元素的特征。

到此,以上就是小编对于kla的晶圆缺陷检测的问题就介绍到这了,希望介绍的几点解答对大家有用,有任何问题和不懂的,欢迎各位老师在评论区讨论,给我留言。

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